什么是微纳激光加工？如何运用？

来源：纳糯三维科技（上海）有限公司Nanoscribe 2023年02月07日 09:52

　　一、背景介绍：

　　1.分辨率方面，一是可以通过原子力显微镜(AFM)或扫描近场显微镜(SNOM)等近场技术来提高，二是可以通过使用短波长光源来提高，三是可以通过非线性吸收实现超分辨率成像或制造。

　　2.制造速度方面，除了工程学方法外，随着激光技术的发展，主要是提出了包括自组装微球激光加工、激光干涉光刻、多焦阵列激光直写等并行激光加工方法来提高制造速度。

　　3.并行激光加工技术可以将二维加工技术扩展到三维加工，为未来微纳加工技术的发展提供新的方向；同时可以地广泛应用于传感、太阳能电池和超材料领域的表面处理和功能器件制造，对生物医学器件制造、光通信、传感、以及光谱学等领域得发展研究具有重要意义。

　　二、特点与注意事项：

　　1.由于近场效应，接触模式可以实现光学超分辨率；二是与传统的基于AFM/SNOM“笔尖”的近场直接书写方法相比，不仅可以显着提高制造速，同时还避免了“笔尖”的磨损。

　　2.大多数情况下微球体的分布过程不受控制，因此在大规模生产中仍然面临许多挑战；二在大面积制造中不能避免缺陷，导致该技术仅于科学研究而不是工业生产。

　　三、区别与联系：

　　1.金属及半导体材料的表面微加工，表面微加工就是在材料的表面进行微纳米级线、孔和凹槽的制备，对加工具有较高的技术要求。而飞秒激光加工技术则是开展表面微加工的有效工具。在理想的表面微加工状态下，应该保持材料外部的最小损伤。

　　2.光聚合材料的内部三维成型，光聚合材料具备光敏化学作用。在光聚合材料的内部，运用飞秒激光加工技术可以实现较高分辨率的三维加工，主要原理就是产生了双光子聚合现象。对飞秒激光进行聚焦，产生双光子吸收效应，作用于光聚合物材料的内部产生固化现象，制备出三维的微结构。

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