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雾化器是将试液雾化。雾化器是原子化系统的重要部件，其性能对测定的精密度和化学干扰等产生显著影响。因此要求雾化器喷雾稳定、雾滴细小、均匀和雾化效率高。
PFA雾化器和普通材质雾化器选择，耐HF材质一般由聚四氟乙烯、全氟树脂、陶瓷氧化铝、聚酰胺等材料制成，主要用于地质、土壤、半导体、合金等含硅化物样品的检测。另外，普通雾化器由玻璃或石英制成，主要用于环境水质、简单金属、及非HF处理样品检测。总溶解固体量是ICP-MS雾化器的基本指标，界限值都在5%、10%、20%、25%、30%、40%(W/v)，其中30%、40%的都是V型或平行雾化器。
ICP上用的微量雾化器，适合于含量较高浓度分析和ICP-MS分析。
高盐雾化器使用高强惰性塑料材质，可耐受除浓硫酸以外的所有的酸。雾化过程：样品从小孔流出，顺凹槽流下，与高速载气相遇，发生雾化。高盐雾化器可以耐受很高的总溶解固体量，不易发生堵塞，但它不是自提升雾化器，需要蠕动泵引入样品。
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