钨灯丝扫描电镜工作原理和送样要求

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来源：深圳华普通用科技有限公司 2022年12月30日 11:55

钨灯丝扫描电镜总发射电流和束斑都较大，抗干扰能力和稳定性都较好，低真空下可以对不导电样品无荷电成像，可用于形貌观察、显微结构分析、断口形貌分析，在材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域都有广泛的用途。

工作原理：

通过对电子枪内的钨灯丝加高电压，使电子枪处于热激发状态，在阳极作用下，处于热激发的电子枪就可以激发出电子束。经过扫描线圈磁场的控制，电子束在样品表面逐点扫描，激发出二次电子、背散射电子等物理信号，经探测器收集、放大器放大后，调制得图像。钨灯丝扫描电镜适合大量的常规检测。

送样要求：

1.欲测试的样品必须符合SEM测试要求，样品要求尽可能要小且干燥无可挥发成分、无磁性，多孔类与易潮解类样品请提前真空干燥处理；

2.样品必须牢固粘贴于样品台上、并吹扫去除未粘贴和不牢固样品;对不导电块体类样品通常需要唢涂〔Au、C）测试；

3.原则上禁止做在强电子束流下易分解的样品；

4.试样如果含有水或者油等易挥发物质必须给出注明；

5.若试样易燃、易爆、有毒,必须提示，以便采取相应的处理措施。

影响钨灯丝扫描电镜分辨率的因素？

1、电子束的实际直径；电子束的直径减小，分辨率提高，但是实际直径小到一定程度时，很难激发出足够的信号。所以理想的电子束需要尺寸小而且束流大。

2、电子束在试样中的散射；电子束进入试样后，受到试样对电子的散射，从而电子束直径变宽，降低了分辨率，这种散射效应取决于加速电压的大小和试样本身的性质。

3、信号噪声比。噪声来源于两个方面：点噪声、统计涨落噪声。提高信噪比可以：

①提高信号电流

②采用长的帧扫描时间

③减少像元数目，但是会降低图像的清晰度。故提高信噪比的有效途径是提高电子束的亮度或适当延长帧扫描的时间。

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