质量流量控制器可以用于控制各种气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但是要注意，对于使用腐蚀性气体和特殊气体，需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，需要.向供货厂商特殊声明使用气体，以免因为选型或选择密封材料错误，造成严重损失。

   气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料-般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体，包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物'(体建议最好采用金属密封的MFC。

   由于金属密封的MFC价格较高,通常要求不高的场合,均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封，可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。其它一-些特殊腐 蚀性气体，需要采用特种橡胶。氨气一需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氣丁橡胶或丁晴橡胶;有机溶剂汽氛(丙酮、甲苯等)一需要采用硅橡胶; 三溴化砌、三氧化硼、氟化氢等_需 要采用全氟橡胶。