特种气体管道氦检漏方法
1、顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
2、内向检漏法(喷氦法)应采用管道内部抽真空,外部喷氦气的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
3、阀座检漏法应采用阀门游充氦气,下游抽真空的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
4、外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气,外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
5、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪,其检测精度不得低于1×10-10mbar·L/s。
6、特种气体系统氦检漏的泄漏率应符合下列规定:
6.1内向测漏法测定的泄漏率不得大于1×10-9mbar·L/s;
6.2阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1×10-6mbar·L/s;
6.3外向测漏法测定的泄漏率不得大于1×10-6mbar·L/s;
7、氦检漏发现的泄漏点经修补后,应重新经过气密性试验合格后,然后按规定再进行氦检漏。
8、所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。
9、系统测试完毕,应充人高纯氮气或氩气,并应进行吹扫。
10、测试完毕后,应提交测试报告。
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