涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜 LT-STM

来源：伯东企业（上海）有限公司 2022年11月10日 14:15

涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜 LTSTM
扫描隧道显微镜 STM 是根据量子力学中的隧道效应原理, 通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置. 低温扫描隧道显微镜 LT-STM 真空互联除了具有纳米分析能力外,它还可以在 4到 300 K 的温度范围内对原子和分子进行精确操作.

低温扫描隧道显微镜 LT-STM 具有最长的 LHe 保持时间, 极低的漂移率和出色的稳定性dz<1 pm, *的光谱和原子操纵可以在低温下对金属, 半导体, 绝缘体, 超导体和碳进行.

LT-STM 系统需要在超高真空环境中进行研究, 对真空度要求及其高, 真空可到 1E-10mbar, 需要用前级泵, 分子泵, 离子泵, 钛泵等组合使用来达到要求, 同时分子泵需要低振动, 低噪音, 清洁无油确保超高真空的稳定性以保证晶体的生长和后期的探测分析.

上海伯东低温扫描隧道显微镜 LT-STM 客户案例: 某搭建 LT-STM 真空互联系统公司, 采购 5套涡轮分子泵 HiPace 300 用于给装置提供超高真空.HiPace 300 主要技术参数如下:

抽速 L/S	N2: 260, H2: 220, He: 255, Ar: 255
全转速时气体流量 mbar l/s	N2: 14, H2: > 14, He: 20, Ar:7
压缩比	N2: >1X1011, H2: 9X105 He: >1X108, Ar: >1X1011
声压水平	≤ 50 dBA
功率消耗	300 W
电流	12.5 A
安装方向	任意方向
允许辐射的热功率	2.4 W
允许磁场	5.5 MT
转速 ± 2 %	60000 min-1

Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速高 90,000 rpm, 极限真空大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型应用 >>

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