高真空膜渗透设备简单应用

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来源：南京皓而普分析设备有限公司（爱尔兰AGC南京办事处） 2022年11月08日 14:08

　　一、原理简介：

　　(1)渗透汽化膜技术是一种新型膜分离技术。依靠各组分在膜中的溶解与扩散速率不同的性质来实现混合物分离的新型膜分离技术过程。

　　(2)具有致密皮层的渗透汽化膜将料液和渗透物分离为两股独立的物流。料液侧则一般维持常压，渗透物侧则通过抽真空或载气吹扫的方式维持很低的组分分压。

　　(3)在膜两侧组分分压差的推动下，料液中各组分扩散通过摸，并在膜后侧汽化为渗透物蒸汽。

　　(4)真空镀膜技术的存在保障了集成电路的高度集成、性能、可靠性、生产效率等。影响颇大，据估计，将近50%的大型集成电路工艺都是与真空设备挂钩的。

　　(5)原液中各组分通过膜的速率不同，透过膜快的组分就可以从原液中分离出来。从膜组件中流出的渗余物可以是纯度较高的透过速率较慢的组分的产物。对于一定的混合液来说，渗透速率主要取决于膜的性质。

　　二、应用领域：

　　(1)在超导技术行业中的应用，常见的镀膜例子：高纯度Nb超导溅射膜、InSb非晶超导膜、V-Hf-Zr系超导膜、Nb-(Cu)系超导膜、Nb-Ge系超导膜等。

　　(2)航天领域的设备要求能适应高温、射线辐照、超高真空的环境，对于这种环境下工作的设备，采用液体润滑剂等方法已不不著见效了，面对不可避免的高温、摩擦、磨损、磨蚀、氧化、气蚀、腐蚀、渗漏等因素影响，固体润滑膜是不可少的。

　　(3)各种结构的薄膜太阳能电池，如非晶硅、Ⅱ-Ⅳ族(如Cds-Cu₂S)、Ⅲ-Ⅴ族(如CaAs)等薄膜太阳能电池。镀一层CaO、ln₂O₂、SnO₂等金属氧化物薄膜在石英玻璃上可用于太阳能集热器当中；镀一层CaAs、InP等多晶半导体薄膜于基材之上则可用于太阳能电池或太阳能发电系统之中。

　　(4)实验镀膜在反应堆燃料元件表面通过离子镀上铝膜可达到防腐蚀的效果；在受控热核反应堆的一些低原子序数、高熔点材料(如TiB₂、B₃C、TiC等)薄膜，可形成表面保护、高温保护等。

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