钨灯丝扫描电镜的原理和优缺点

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来源：上海曼戈斐光学技术有限公司 2022年11月04日 17:03

钨灯丝扫描电镜总发射电流和束斑都较大，抗干扰能力和稳定性都较好，低真空下可以对不导电样品无荷电成像，可用于形貌观察、显微结构分析、断口形貌分析，在材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域都有广泛的用途。

工作原理：

通过对电子枪内的钨灯丝加高电压，使电子枪处于热激发状态，在阳极作用下，处于热激发的电子枪就可以激发出电子束。经过扫描线圈磁场的控制，电子束在样品表面逐点扫描，激发出二次电子、背散射电子等物理信号，经探测器收集、放大器放大后，调制得图像。钨灯丝扫描电镜适合大量的常规检测。

与其他阴极相比，钨阴极电子枪的优点有：

1.对真空度的要求不是很高，它可以在相对较低的真空度（<10Pa）下工作，电子光学和真空系统结构都较简单，整体造价较低。

2.总发射电流和束斑都比较大，且相对稳定，其抗震和抗干扰能力较强，特别适合作电镜的电子源。

3.结构简单，加工容易，维持费用较低，维护和保养也较简单、易行。

与其他阴极相比，钨灯丝的不足之处是：

1.总发射束流虽大，但束流密度小，发射效率低，信噪比较差，比较难满足拍摄超高分辨图像的需要。

2.化学稳定性也较差，容易与空气中的水分发生作用，产生所谓的“水循环”，而寿命短。

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