电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。
1、镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件,这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体。
电子透镜用来聚焦电子,是电子显微镜镜筒中最重要的部件。一般使用的是磁透镜,有时也有使用静电透镜的。
2、真空装置用以保障显微镜内的真空状态,这样电子在其路径上不会被吸收或偏向,由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成,并通过抽气管道与镜筒相联接。
3、电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。
电子显微镜的缺点:
1.在电子显微镜中样本必须在真空中观察,因此无法观察活样本。随着技术的进步,环境扫描电镜将逐渐实现直接对活样本的观察;
2.在处理样本时可能会产生样本本来没有的结构,这加剧了此后分析图像的难度;
3.由于电子散射能力,容易发生二次衍射等;
4.由于为三维物体的二维平面投影像,有时像不;
5.由于透射电子显微镜只能观察非常薄的样本,而有可能物质表面的结构与物质内部的结构不同。
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