德国安思罗斯Anseros COM-VD大型臭氧发生器特点
ANSEROS安索罗斯臭氧发生器COM-VD系列是在低氧气消耗量的气相中,臭氧最高浓度可达到 300g O3/Nm3。
MEGAGEN系列臭氧发生器COM-VD能与ANSEROS安索罗斯AOPR反应器配合使用,其质量转移效果非常好,可以将大量的臭氧转换成液相,从而达到强力去除COD的目的。
臭氧发生器MEGAGEN COM-VD系列数据表
臭氧发生器COM-VD系列产品特点:
最高臭氧浓度
低耗氧量
低功耗
相关反应性高
低AOPR(高级氧化工艺)能耗
臭氧发生器COM-VD系列产品应用:
+ AOP(高级氧化技术)污水处理、去除COD
+ HOXON®废水系统, API废水
+ 半导体加工(如晶圆清洗,电子元件臭氧清洗)
+ 除臭
+ 研发
+ 药品生产
臭氧发生器在半导体晶圆清洗上的应用
晶圆清洗是目前半导体生产线上最重要、最严谨的工序之一,在很多的清洗工序中,只要有一道工序达不到要求,就会导致征辟的芯片的报废和流程不顺畅,传统的RCA清洗法需要大量的化学试剂,带来了成本的增加以及均匀性不一致的问题,而臭氧是一种具有氧化性的气体,把它溶解在超纯水中,喷洒在晶圆表面,可以将表面的有机污染物氧化为二氧化碳和水,非常容易就可以去除表面有机物,同时还会在晶圆表面形成一层致密的氧化膜。因此德国ANSEROS安索罗斯臭氧发生器非常适合运用在半导体特别是晶圆清洗上。
臭氧发生器COM-VD系列产品规格:
类型 | 单位 | COM-VD-08 | COM-VD-16 | COM-VD-24 |
臭氧容量 | g O3 /h | 60 | 120 | 180 |
最大臭氧浓度 | g O3/Nm3 | 300 | 300 | 300 |
最小臭氧浓度 | g O3/Nm3 | 150 | 150 | 150 |
臭氧气体压力输出 | bar (g) | <2.9 | ||
最小氧气消耗量 | Nm3 /h | 0,2 | 0,4 | 0,6 |
电功率 | kW | 0,6 | 1,2 | 1,8 |
电源 | VAC /Hz | 230/50-60/1 phase | ||
能效 | kWh/kg O3 | 10 | 10 | 10 |
AOPR评级, 动力 | kg O3/(bar *h* m3H2O) | 10 ... 500 | ||
冷却液,目标温度 | m3 /h283 K | 0,1 | 0,2 | 0,3 |
外形尺寸 | mm | 高280*宽562*长603 mm | ||
标准重量 | kg | 41 | 50 | 62 |
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