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X射线镀层测厚仪的测量方法主要有：楔切法，光截法，电解法，厚度差测量法，称重法，X射线荧光法， 射线反向散射法，电容法、磁性测量法及涡流测量法等等。这些方法中前五种是有损检测，测量速度慢，多适用于抽样检验。
x射线镀层测厚仪是通过X射线激发各种物质(如Mo、Ag、Mn)的特征X射线，然后测量这被释放出来的特征X射线的能量对样品进行进行定性，测量这被释放出来的特征X射线的强度与标准片(或者对比样)对比得出各物质的厚度，这种强度和厚度的对应关系在软件后台形成曲线。而各种物质的强度增加，厚度值也增加，但不是直线关系；通过标样和软件及算法(算法有FP法和经验系数法)得到一个接近实际对应关系的曲线。
x射线镀层测厚仪原理
1、原理：X射线照射样品，经过镀层界面，射线返回的信号发生突变，根据理论上同材质**厚样品反馈回强度的关系推断镀层的厚度。
理论上两层中含有同一元素测试很困难（信号分不开）。
2、XRF镀层测厚仪：俗称X射线荧光测厚仪、镀层测厚仪、膜厚仪、膜厚测试仪、金镍厚测试仪、电镀膜厚仪等。
功能：精密测量金属电镀层的厚度。
应用范围：测量镀层,涂层,薄膜,液体的厚度或组成,测量范围从22(Ti)到92(U)。
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