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低温等离子灭菌器主要由电源、箱体、控制系统、真空系统、微处理器、气路系统等构成。
低温等离子灭菌器在低温（60℃以下）和真空状态下，通过高频电场作用，使灭菌容器舱内形成均匀的等离子场，等离子体在形成过程中产生的大量紫外线，可直接破坏微生物的基因物质，紫外线固有的光解作用打破了微生物分子的化学键，再生成挥发性的化合物。通过等离子体的蚀刻作用，等离子中活性物质与微生物体内的蛋氢质和核酸发生化学反应，能够摧毁微生物和扰乱微生物的生存功能。然后注入过氧化氢为灭菌剂，在灭菌舱内雾化弥漫。过氧化氢在此作用中将会有离子化分解反应，并作用于微生物之细胞，破坏其生命，进一步对微生物实施杀灭。
灭菌程序：
1、抽真空：灭菌室内压力内由正压至负压；
2、注射：注入定量的过氧化氢溶液；
3、扩散：让低温等离子灭菌器中的过氧化氢充分汽化，均匀扩散到灭菌室内；
4、等离子态：启动灭菌室内电磁场，使汽化的过氧化氢形成等离子态。
5、通风:过滤空气进入，消除室内负压。
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