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三维形貌仪是一种科学仪器，是用来侦测并分析现实世界中物体或环境的形状(几何构造)与外观数据(如颜色、表面反照率等性质)。可分为接触式、非接触式、激光等类型。
三维形貌仪的应用有三维表面轮廓测量、粗糙度测量、膜的台阶高度测量、空间分析和表面纹理表征、曲率测量、二维薄膜应力测量、表面质量和缺陷检测等。
本产品适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值，交互缩放，X-Y和线段剖面，三维线路、混合和固定绘图，用于阶越高度测量的地区差异绘图。
三维表面形貌仪技术特点：
1、每秒一百万张二维图像
2、无损表面形貌检测和分析
3、高精度在线/离线检测
4、模块化设计，超高集成灵活性
5、无需苛刻的工作环境(振动，噪声，温度等)
6、可应用于科研和工业领域
三维表面形貌仪应用领域：
工业：
食品安全在线检测
微电子集成电路表面形貌在线检测
印刷电路板品质检测
零件器件表面划痕损伤检测
微机械精加工质量控制，如钟表，微机械器件等
电子产品零件在线监控，如手机，笔记本电脑，平板等
微流体器件三维形貌检测
在线检测设备集成
证件防伪，安检
科研：
MEMS器件
微机械零件表面形貌观察和测量
微光学器件(太赫兹、红外、微波、天线阵列)三维形貌表征
生命科学：生物组织/生物体的 三维形貌测量
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