真空镀膜机的维护技巧有哪些

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来源：徕卡显微系统（上海）贸易有限公司 2022年10月14日 18:05

　　真空镀膜技术，简单地来说就是在真空环境下，利用蒸发、溅射等方式发射出膜料粒子，沉积在金属、玻璃、陶瓷、半导体以及塑料件等物体上形成镀膜层。

　　真空镀膜机使用之后的维护技巧

　　1、扩散泵在重新开机前，要注意检漏工作。

　　扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水*清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。

　　方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。

　　2、当粗抽泵(滑阀泵，旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)，需更换新油。

　　方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油*排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。

　　3、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

　　方法是：用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁，( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

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