适用于质量流量计以及质量流量控制器的气体流量转换系数

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适用于质量流量计以及质量流量控制器的气体流量转换系数

来源：北京精量科技有限公司 2022年09月23日 10:08

有些用户在使用质量流量计/流量控制器的过程中，会涉及到需要转换不同的气体介质。

但不同气体的特性是不同的，所以不同气体显示出的体积流量也会有差别，这种差别需要通

过气体转换系数换算，因此在更换气体后，为了使质量流量计或质量流量控制器显示其正确

的体积流量（标方，标升、毫升等单位），需要针对相应的气体介质，调整气体转换系数。

以下是部分气体的转换系数：

气体	代号	比热（卡/克℃）	密度（克/升0℃）	转换系数
Air 空气	008	0.2400	1.2930	1.006
Ar 氩气	004	0.1250	1.7837	1.415
AsH3 砷烷	035	0.1168	3.4780	0.673
BBr3 三溴化硼	079	0.0647	11.1800	0.378
BCl3 三氯化硼	070	0.1217	5.2270	0.430
BF3 三氟化硼	048	0.1779	3.0250	0.508
B2H6 硼烷	058	0.5020	1.2350	0.441
CCl4 四氯化碳	101	0.1297	6.8600	0.307
CF4 四氟化碳	063	0.1659	3.9636	0.420
CH4 甲烷	028	0.5318	0.7150	0.719
C2H2 乙炔	042	0.4049	1.1620	0.581
C2H4 乙烯	038	0.3658	1.2510	0.598
C2H6 乙烷	054	0.4241	1.3420	0.481
C3H4 丙炔	068	0.3633	1.7870	0.421
C3H6 丙烯	069	0.3659	1.8770	0.398
C3H8 丙烷	089	0.3990	1.9670	0.348
C4H6 丁炔	093	0.3515	2.4130	0.322
C4H8 丁烯	104	0.3723	2.5030	0.294
C4H10 丁烷	111	0.4130	2.5930	0.255
C5H12 戊烷	240	0.3916	3.2190	0.217
CH3OH 甲醇	176	0.3277	1.4300	0.584
C2H6O 乙醇	136	0.3398	2.0550	0.392
C2H3Cl3 三氯乙烷	112	0.1654	5.9500	0.278
CO 一氧化碳	009	0.2488	1.2500	1.000
CO2 二氧化碳	025	0.2017	1.9640	0.737
C2N2 氰气	059	0.2608	2.3220	0.452
Cl2 氯气	019	0.1145	3.1630	0.858
D2 氘气	014	1.7325	0.1798	0.998
F2 氟气	018	0.1970	1.6950	0.931
GeCl4 四氯化锗	113	0.1072	9.5650	0.267
GeH4 锗烷	043	0.1405	3.4180	0.569
H2 氢气	007	3.4224	0.0899	1.010
HBr 溴化氢	010	0.0861	3.6100	1.000
HCl 氯化氢	011	0.1911	1.6270	1.000
HF 氟化氢	012	0.3482	0.8930	1.000
HI 碘化氢	017	0.0545	5.7070	0.999
H2S 硫化氢	022	0.2278	1.5200	0.844
He 氦气	001	1.2418	0.1786	1.415
Kr 氪气	005	0.0593	3.7390	1.415
N2 氮气	013	0.2468	1.2500	1.000
Ne 氖气	002	0.2464	0.9000	1.415
NH3 氨气	029	0.5005	0.7600	0.719
NO 一氧化氮	016	0.2378	1.3390	0.976
NO2 二氧化氮	026	0.1923	2.0520	0.741
N2O 一氧化二氮	027	0.2098	1.9640	0.709
O2 氧气	015	0.2196	1.4270	0.992
PCl3 三氯化磷	193	0.1247	6.1270	0.358
PH3 磷烷	031	0.2610	1.5170	0.691
PF5 五氟化磷	143	0.1611	5.6200	0.302
POCl3 三氯氧磷	102	0.1324	6.8450	0.302
SiCl4 四氯化硅	108	0.1270	7.5847	0.284
SiF4 四氟化硅	088	0.1692	4.6430	0.348
SiH4 硅烷	039	0.3189	1.4330	0.599
SiH2Cl2 二氯氢硅	067	0.1472	4.5060	0.412
SiHCl3 三氯氢硅	147	0.1332	6.0430	0.340
SF6 六氟化硫	110	0.1588	6.5160	0.264
SO2 二氧化硫	032	0.1489	2.8580	0.687
TiCl4 四氯化钛	114	0.1572	8.4650	0.206
WF6 六氟化钨	121	0.0956	13.2900	0.215
Xe 氙气	006	0.0397	5.8580	1.415

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