超精密气浮台是基于静态气动轴承,其安装在滚珠面板基底:顶部与面板连接,由承转子组成。在球和板之间有气隙。定子与台座外壳对应的负形连接。定子采用内节流原理安装,气动分布通道系统与喷嘴组合。转子定子与转子在定压和负载下没有接触。可用于圆度测量系统、中心偏差测量系统和粗糙度测量系统。
超精密气浮台基本特性
载重能力强,重复精度高;无限的使用寿命;无尘室应用环境;不滑行动作;不磨损,不调整。
技术指标:
转动精确度(径向和轴向跳动)。玻璃纤维编码器:相对定位精度。有两个版本的空气轴承转盘:转盘,有角编码器,连转盘旋转均匀,无角度位置控制。
可以根据应用程序使用其他驱动器:
带子传动采用DC高精度齿轮装置,高精度定位,转速每分钟可达3转;DC驱动,DC驱动采用DC无刷力矩电机,转速在0.2-200rpm之间;全部转盘都是水平或垂直的。该设备配置精密地支撑板和带有螺纹孔的螺纹孔来夹住螺母或T型槽(可供选择)。
选择:
平倾调节装置;吸附器;电子旋转控制装置;
高分辨角编码器;
岩石基础,带有减震元件,
气体过滤器系统
以上就是小编为大家介绍的全部内容,看完这篇文章相信大家应该有所了解了。
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