MEMS技术的主要优势有:
✓ 体积小,重量轻
✓ 量程小,小到几个kpa的压力
✓ 具有很高的精度
✓ 可以做出绝压、表压、压差,选择柔性高
✓ 更适合大批量和高效率的生产
MEMS产品是采用MEMS技术将感压单元和信号处理芯片集成在一个只有几毫米的MEMS芯片上,后期进行必要的封装而来。MEMS产品在我们的生活中随处可见,如电子血压计里面的感压单元,手机麦克风,数码相机的光学防抖所用的陀螺仪等。
MEMS测量压力的原理
MEMS测量压力的原理是在感压膜片上集成几个MEMS压敏电阻,这几个压敏电阻通过绑线实现与外部的电气连接,并组成一个惠斯通电桥。
惠斯通电桥
当压力作用在感压膜片上后,产生机械应力,使得桥臂电阻发生变化,并通过外部电路将这个微小的电压变化进行放大和处理,最终输出正比于压力的电压或者数字信号。
MEMS工作原理
关于压差传感器的选型,需要根据应用需求的不同,主要考虑压力量程、使用温度、输出信号格式、上下拉电阻、精度这五点。另外,根据不同的安装需求,如螺栓孔的数量、压力端口的直径以及接插件型号等,可以选择不同外形的压差传感器。
免责声明
- 凡本网注明“来源:化工仪器网”的所有作品,均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明“来源:化工仪器网”。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其他来源(非化工仪器网)的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品第一来源,并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。