导电的金属基片和多孔金层作为的电容的两个极板，中间是多空的金属氧化膜。电容的大小取决于极板的大小、极板之间的距离和极板之间绝缘体的介电常数。除了介电常数之外的两个因素都是固定值，传感器周围的气体会进入到传感器微孔之中，其中水分的高介电常数使传感器的介电常数发生很大变化，并且这介电常数的变化  主要是由进入氧化膜微孔中的水分引起的，即使是气体中的水分含量变化幅度很小。

01 背景介绍

       纳米微孔金属氧化膜露点传感器是美国菲美特(phymetrix)公司于2007 年推出的一款测量气体湿度用的电容型传感器，其发明者为 Bedros 先生。能够在‐110℃～+20℃的露点温度范围内快速准确地测量气体及液体中的水分含量。

      传统的氧化铝传感器，其代表行为上世纪90 年代由Bedros 先生在考撒-深特（cosaxentaur）公司推出的超薄膜 (HTF™) 氧化铝技术，为原GE下属的巴纳（panametrics）及其他公司如特利丹（teledyne）、仕富梅（Servomex）等广泛应用。

      另有英国肖氏（shaw）及其派生公司在上世纪60年代研究的Shaw Moisture Meters 及英国米希尔公司的陶瓷氧化铝传感器。

02 产品比较

03 美国菲美特露点仪的技术优势
基本原理

     导电的金属基片和多孔金层作为的电容的两个极板，中间 是多空的金属氧化膜。电容的大小取决于极板的大小、极板之间的距离和极板之间绝缘体的介电常数。除了介电常数之外的两个因素都是固定值，传感器周围的气体会进入到传感器微孔之中，其中水分的高介电常数使传感器的介电常数发生很大变化，并且这介电常数的变化  主要是由进入氧化膜微孔中的水分引起的，即使是气体中的水分含量变化幅度很小。

独*的结构

    纳米微孔结构设计使传感器在水分含量非常少的情况下利用针对于水分的毛细管作用使传感器内外达到平衡时，内外的水分浓度成指数比例，因此即使传感器外的水分含量变化很小，传感器的电容变化也会很大，这个电容的变化量足以让仪器检测到，因此使传感器能够具有更宽广的测量范围（‐110～+20℃dp），并且响应更灵敏，漂移量更小，耐用性更好。

►美国phymetrix公司的露点分析仪采用纳米薄膜同轴电容法原理，测试气体中水份含量，是*技术。
►纳米传感器具有吸附大量水分子的能力，露点可测低至 ‐110℃dp；
►phymetrix公司校准实验室可为每台仪器执行 NIST 校准证书标准，保证其精度为± 2℃dp；
►通过传感器干燥室存储机制，响应时间还可以进一步加快，十分钟可以得到测试趋势读数；
►内置的温度传感器和可选压力传感器可进行校准补偿，保证测量的一致性和重复性；
►纳米薄膜进一步保证数据漂移量更小，从而解决了常规电容法测量湿度的难题。