台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 。根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。
产品特点:
·操作简易,从研发到质量控制都有更好的过程控制。
·能够在微电子,半导体,太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。
·测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好
·可以作为其它形貌测量技术的比对
主要应用范围:
·大学、研究实验室和研究所
·半导体和化合物半导体
·LED:发光二极管
·太阳能
·MEMS:微机电系统
·数据存储
·汽车
·医疗设备
布鲁克DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供重现性,重现性低于4A。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年 Dektak 技术创新,更加巩固了其行业地位。通过整合其行业产品,DektakXT实现了高性能。
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