运动多轴气浮运动台作为数控设备的核心组件，得到了业内的广泛关注。本文设计了一款两轴精密运动多轴气浮运动台，用于轻载的中、小型数控设备中，并可根据精度、负载和测量或加工方式等不同，进行导轨的再设计与电机的重新选型。本文以半导体器件、微小型:零件等的几何参数测量机为例，展开设计与分析，为此类多轴气浮运动台的研究做了一些参考性工作。

首先，根据拟定的技术要求，确定此多轴气浮运动台为直线电机与气浮导轨相结合的H型布局形式，之后，完成气浮导轨的设计与直线电机的选型，并运用Soldiworks三维软件，实现运动多轴气浮运动台的建模。

基于气体润滑理论，运用解析和有限元法分析导轨气膜，得到不同供气情况下压力场分布，完善了节流器布局并开设均压槽，均化压力，提高承载性能。利用FLUENT与MATLAB分别分析润滑参数对刚度与气锤自激的影响，综合考虑刚度与稳定性，提出参数优选意见，为设计出性能优良的气浮导轨提供了有力的依据。

对多轴气浮运动台进行静力与模态分析，得到导轨在负载、压力场作用下的变形和多轴气浮运动台的振动特性满足设计要求。针对多轴气浮运动台热变形问题，提出改进方案，结果显示，两种方案均使热变形量明显下降，小于许用变形量，为此类多轴气浮运动台热变形的改善提供了参考。