热物理显微镜TM3的测量原理

在样品上形成金属薄膜，并用加热激光定期加热。

1. 由于金属的反射率具有随表面温度变化的特性（热电阻法），因此通过捕捉与加热激光同轴照射的检测激光的反射强度变化来测量表面的相对温度变化。 .

2. 热量从金属薄膜传播到样品，导致表面温度响应出现相位延迟。该相位延迟取决于样品的热特性。通过测量加热光和检测光之间的相位延迟来获得热射流率。

检测特点

• 热物性显微镜是一种测量热射流率的装置，热射流率是热物理特性值之一。

• 它是一种可以通过点、线和面测量样品的热特性的设备。

• 还可以测量微米量级的热物理性质分布，这在传统的热物理性质测量设备中被认为是困难的。

• 它是一款能够对热物理特性进行非接触式高分辨率测量的设备。

• 3 μm的检测光点直径可在微小区域内进行高分辨率热物性测量（点/线/面测量）。

• 由于可以通过改变深度范围进行测量，因此可以测量从薄膜/多层膜到块状材料。

• 您也可以测量板上的样品。

• 使用激光进行非接触式测量。

• 可以检测薄膜下的裂纹、空隙和剥落。