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紫外臭氧清洗仪是一种简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，采用长寿命U、石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调并可选加热控温，以便达到清洗效果。能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。
工作原理：
通过产生185nm和254nm高强度UV光分解有机分子（污染物）。185nm的光可以将氧分子O2转变成活性的O3臭氧分子。254nm的光同时激发表面的有机分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在时间短并且同时也被254nm光分解，样品台可以调节样品到灯管的距离来优化性能。PSD和PSDP分解有机污染物，然后形成CO2和H2O蒸气，同时也将臭氧分子转变成氧分子。
紫外臭氧清洗仪特点
1、UVO基础型采用可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色触摸屏设置显示计时时间及加热温度。
2、自动补偿功能，自动恒定光强光密度，不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
3、数字倒计时显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
4、可随时手动中断处理过程。
5、自动记录之前清洗参数设置。
6、样品台可控温（可选），控温范围RT-260℃，控温精度0.1℃。
7、顶置下压式铰链开关盖方式，操作简单方便。
8、上置式样品台设计，360度自由放置样品，操作方便。
9、样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，并可锁定。
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