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大气等离子清洗机包括等离子发生器，变压器和等离子喷枪。等离子发生器是系统的核心控制部件，而喷枪可以根据工作环境的不同选择固定喷枪、旋转喷枪或双头旋转喷枪。固定喷枪适合处理窄而深的处理面，而旋转喷枪或多头旋转喷枪则适合宽幅的表面。
大气等离子清洗机真空腔体保养
等离子腔体清洁时产生的污物大部分都接近电子级别，会随着真空泵排除。但也会有一些大颗粒污染物产生。这些大颗粒污物会附着在腔壁、电极和托板架上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔底掉落更严重。对于腔壁用不可掉落的毛刷清洁使颗粒粉尘异物在腔壁脱落，用吸尘机将污物吸出。用脱脂布沾酒精擦拭，其次腔体导入N2和O2，用等离子体清除腔体内残余物，工作10min。
电极与托板架的保养
托板架和电极长时间使用后会附着氧化层，同时采用等离子体处理烃基材料时，一段时间后在托板架、电极，RF导电杆上会积累一层薄的烃基残留物，这些残留物和氧化层是无法用酒精擦拭掉的。应依据附着物的量对电极、托板架进行翻新维护能保证清洗的稳定。清洗材料要求：氢氧化钠、硫酸、城市用水和蒸馏水。注意：不要使用手磨机、砂纸或磨蚀性喷砂处理等机械方法清洁；氢氧化钠溶液会与铝发生剧烈的化学反应，应小心谨慎以确保仅在所需的时间内清除沉积物；反应中会生成具有潜在爆炸性的氢气，因此工作区域应保持良好的通风。
真空泵的保养
查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，发现油位接近很低红线刻度，加油到红标线上下之间位置。
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