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ICP原子发射光谱仪是根据原子所发射的光谱来测定物质的化学组分的。不同的物质由不同元素的原子所组成，而原子都包含着一个结构紧密的原子核，核外围绕着不断运动的电子。
每个电子处在一定的能级上，具有一定的能量。在正常的情况下，原子处于稳定状态，它的能量是较低的，这个状态被称为基态。当原子在外界能量的作用下转变成气态原子，并使气态原子的外层电子激发至高能态。
当从较高的能级跃迁到较低能级时，原子将释放出多余的能量而发射出特征谱线。
ICP原子发射光谱仪的优点：
①多元素同时检测能力。
可同时测定一个样品中多种元素的特征光谱，这样就可同时多种元素。
②分析速度快。
若利用光电直读光谱仪，可在几分钟内同时对几十种元素进行定量分析。分析试样不经化学处理，固体、液体样品都可直接测定。
③选择性好。
每种元素因原子结构不同，发射各自不同的特征光谱，对于一些化学性质极相似的元素具有特别重要的意义。例如，铌和钽、锆和铪、十几种稀土元素用其他方法分析都很困难，而发射光谱分析可以毫无困难地将它们区分开来，并分别加以测定。
ICP原子发射光谱仪用的光源对试样的作用过程：
先是把试样中的组分蒸发解离为气态原子，然后使这些气态原子激发，使之产生特征光谱。
因此光源的主要作用是为试样蒸发、原子化和激发发光提供所需的能量，它的性质影响着光谱分析的灵敏度和准确度。所以在分析具体试样时，应根据分析的元素和对灵敏度及准确度的要求选择适当的激发源。
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