磁控溅射镀膜仪有没有辐射

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来源：北京格微仪器有限公司 2022年06月13日 08:52

磁控溅射仪当然有辐射，

　　1、可见光波段：阴极发射的电子电离介质气体分子，分子/原子光谱。这些光密度不大，不至于刺伤钛合金狗眼.属于无害辐射。

　　2、不可见光波段：阴极发射的电子电离介质气体分子，红外/紫外，分子/原子光谱。紫外辐射有害

　　3、X射线：气体电离后的离子，在阴极加速场作用，轰击阴极靶材，作用区也比较复杂，除了实现离子刻蚀溅射以外，还有类似扫描电镜类似的散射出现，如二次电子，二次离子，及各种射线辐射。

　　在样品端，电子会激发出更多X射线，尽管磁控装置让大部分电子行程增加，到达样品其能量衰减近乎零，但会有一部分阴极电子或二次电子以最大能量轰击样品，从而会有X射线产生，如果连接类似扫描电镜附件X射线能谱仪，你会发现惊喜！

　　至于这些X射线是否有害，一般来说，紫外粒子能量足以电离物质，磁控溅射仪最大工作电压3000V，理论上最大辐射能量3Kev,这些辐射是相当危险的。

　　对于扫描电镜样品制备驰奔小型溅射仪来说，大多1000V以下工作电压，玻璃罩子可以有效阻拦紫外能量以上的高能射线，而可见光辐射对人基本无害。

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