超声波清洗技术经过几十年的理论实践,在工艺和设备上都得到了很大的发展，不仅研发了大批新产品，也制订了更为先进的清洗工艺。

1.高频超声清洗

半导体硅片、太阳能电池硅片表面的超微污物粒子，如采用低频超声波，即使硅片击碎，粒子依然附着其上，越是增加功率密度也没任何效果。近来发展起来的兆赫高频超声清洗，其超声频率髙，实际上已不再是产生空化气泡，而是高频压力波的擦洗作用，对污物的清除率也接近百分白，并且对硅片损伤微乎其微。因此近来发展较快,虽然造价昂贵，但硅晶圆太阳能行业仍趋之若鹜。

2.聚焦式清洗

化纤行业使用的喷丝板、其上面密密麻麻的微细孔，以前恐怕只有人工用细针来捅穿堵塞物，即使采用常规的超声清洗效果也不理想，主要是声强达不到要求，而采用机械扫描聚焦式超声清洗，达到较高的声强，在间隙脉冲状态下，空化泡高密度的轰击，喷丝板微孔内的污物脱离，达到清理残留物的效果。

3.多频清洗

在一台超声波清洗机槽体内，安装两组或三组以上不同超声频率的换能器，由多台超声波发生器分别推动各自频率的换能器，超声波清洗的频率高，在液体中的空化密度大但空化强度低，而超声波清洗的频率低则正好相反，空化密度小但空化强度高，由于低频超声波的强度高，有利于物体表面清洗，高频超声波空化密度高，穿透细孔、缝隙、凹槽结构的能力强。因此在一台中应用多种频率的超声波，就解决了一个频率因驻波场造成的清洗不均匀问题。

4.扫频和跳频清洗

扫频清洗和跳频清洗都是为了改善清洗槽中的声场结构，扫频清洗解决了清洗槽的驻波场,使清洗更均匀；而跳频和多频一样兼顾到高低频清洗，不同的是跳频用的是一个换能器和一个发生器，其换能器本身具有两个或多个谐振频率，在第一谐振点带宽内作连续的频率变化，然后跳到另一带宽内进行扫频清洗，属于高中低频交替进行的清洗方式，这就是实现一台超声波发生器驱动一种换能器的多种频率，并可实现频率自由切换。