力-热系统
系统组成
图1
技术指标 |
力-热样品台 |
高精度力学传感芯片 |
加热芯片 |
高精度控温模块 |
三维运动控制模块 |
力学数据采集及计算模块 |
力学测试:压缩、拉伸、恒定力、恒位移 |
设备工作流程
图2
图2视频
测试前,利用FIB将样品焊接加热芯片端,将金刚石焊接在力学传感端,力学测试过程中,加热芯片跟随运动控制模块向前运动,并力学传感芯片接触受力,样品在加热条件下发生压缩或拉伸。
力学传感器
图3
技术指标 |
20uN,k=7(nN/nm) |
85uN, k=29(nN/nm) |
150uN,k=50(nN/nm) |
500uN, k=169(nN/nm) |
1000uN, k=400(nN/nm) |
运动控制模块
图4
技术指标 | |
运动控制:粗调+细调 | |
控制方式:xyz三轴定量运动控制 | |
粗调量程:±2 mm(精度100nm) | |
细调量程:X/8 μm,Y、Z/10 μm(精度0.2nm) | |
力学测试精度:优于10nN | |
支持实时获取力-位移曲线 | |
力学测试模式:压缩、拉伸、恒定力、恒位移 |
高温加热模块
图5
技术指标 | |
两电极反馈控温 | |
绝对温标设计,消除系统误差 | |
RT-400℃, RT-800℃(任选) | |
控温精度:0.01℃ | |
温度均匀性:优于99.5% | |
支持FIB制样 | |
芯片可重复使用 |
技术参数
项目 | 力学系列 | |
最大载荷 | 1000μN | |
力学测量精度 | 优于10 nN(在40 μN最大载荷时) | |
力学测试模式 | 压缩、拉伸、恒定力、恒位移 (可实时获取应力-应变曲线) | |
三维运动 | 粗调范围 | ±2 mm |
粗调精度 | 100nm | |
细调 | X/8 μm,Y、Z/10 μm | |
细调精度 | 0.2nm | |
热 | 温度范围 | RT-400 ℃、RT-800 ℃(任选) |
控温方式 | 两电极反馈控温 | |
温度稳定性 | ≤0.01 ℃ | |
温度均匀性 | >99.5% | |
适用电镜 | FEI, JEOL, Hitachi |
优势 |
力学精度高 |
可实现800℃高温力学测试 |
可实时获取应力应变曲线 |
三轴定量运动控制,定位精度高 |
支持压缩、拉伸、恒定力、恒位移多种力学测量模式 |
应用案例-钨纳米柱
图6 钨纳米柱受力发生弹性形变过程中,弹性形变量与受力的关系
图6视频 钨纳米柱受力发生弹性形变过程中,弹性形变量与受力的关系
图7 钨纳米柱受力发生弹性形变和塑性形变过程
图7视频 钨纳米柱受力发生弹性形变和塑性形变过程
TEM原位设备周边产品及服务
真空存杆仪 |
真空≤10-4 hPa |
最多可支持10路存杆 |
高真空检漏仪 |
真空≤10-6 hPa |
样品预抽,保证电镜安全 |
●原位样品杆定制 ●MEMS芯片定制 ●MEMS工艺代加工 ●原位透射电镜测试 ●透射电镜样品杆维修
科研成果
Applied Catalysis B: Environmental, 2021, 284: 119743.
Small Methods, 2021, 5(7): 2001234
Nano Research, 2021, 14(8): 2805-2809.
Applied Catalysis B: Environmental, 2022, 307: 121164.
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