真空扩散泵是达到高真空环境的常规产品，真空扩散泵的工作原理是这样的：在前级真空泵所造成的低真空(4×10^-1Pa)条件下，加热泵内硅油，使受热沸腾蒸发，生成蒸气，以*速度通过该泵的各级喷口的缝隙喷出，使容器内部的气体分子扩散到蒸汽中被带到前级真空泵所能作用的位置，由前级真空泵迅速抽出，使系统达到高真空的要求，极限压力可到5×10^-4Pa。GTK150高真空扩散泵系统是我司自主研发的，将相互匹配的前级真空泵、扩散泵、复合真空计有效集成在一起，具有体积小、重量轻、节能高效的特点。

图1 GTK150高真空扩散泵机组

如何进一步提高真空扩散泵的性能和质量，主要有以下的一些方面考虑：

（1）目前国内生产扩散泵的厂家较多，型号、尺寸不统一，大泵越作越大，小泵则很少生产，而且对泵的全面性能也没有考核指标。行业内为了提高扩散泵的性能和质量，应当定期进行检查、组织生产厂家加大研发、多做改进工作，使用户配套方便。

（2）在泵结构方面的改进：要缩小尺寸、降低重量，保证零件的加工精度，可增加级数，提高在4×10^-1Pa时的抽气量，并给出几种常用的被抽气体的抽气量。

（3）增加附件设备：如设置挡油帽，过热保护装置（对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护，可自动切断和复位），出口压力的监控设备等等。

（4）规定油量的最大值和最小值和耗油量（如0.5-0.7 g/h等）；要观察油位，以方便用户及时注油；从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。

（5）给出合适的前级泵的容量。

（6）为了节能加热功率要可调，要快速起动和快速冷却停泵，提高设备的运转率。

（7）给出各种被抽气体的性能曲线，最好给出对一些气体的压缩比，方便用户选用。

（8）接入PC数字化控制，保证运行正常，并提供故障自动诊断功能。

（9）密封处要选高质量的放气率和透气率小的橡胶圈。