精密运动台都有哪些指标

1. 直线运动台以下技术指标参数：

2. 定位精度：

指令位置与测量设备（Renishaw XL80激光干涉仪）检测的位置之间的误差，比如要求一个轴走100mm,结果实际上它走了100.01，那定位精度是0.01mm。

3. 重复定位精度：

在相同条件下，系统被重复地命令到一个位置时所达到的位置范围。单向重复性是通过从一个方向接近一个点来测量，双向重复性度量从两个方向返回到点的能力。比如要求一个轴走10mm,结果实际上走了10.01、10.015、10.013，重复定位精度是0.005mm。定位精度是可以通过补偿来实现，把光栅尺的误差，结构误差、控制算法误差，综合起来补偿。

4. 直线度：

直线度是位移台在水平方向移动时于垂直水平轴线的左右方向的偏差。对于上图，X轴平台的行程的直线度误差将导致Y方向上的定位误差，Y轴的直线度偏差将导致X方向上的定位误差。

5. 平面度：

平面度（垂直于直线度）是位移台在水平方向移动时于垂直于水平轴线上下方向的偏差。 对于上图所示，行程中的平面度偏差将导致Z方向上的定位误差。

6. Pitch(俯仰角)误差：

俯仰是围绕水平轴的旋转平面垂直于移动方向，如果被测位置点不在旋转中心，那么俯仰旋转将导致二维的阿贝误差。对于X轴，俯仰旋转将导致X和Z方向上的阿贝误差，对于Y轴，俯仰旋转将导致Y和Z方向上的阿贝误差，这些误差的大小可以是通过偏移距离的长度乘以旋转角度的正弦或余弦来确定。

7. Yaw(偏摆角)误差：

偏摆是围绕垂直于移动方向的垂直平面中的轴的旋转，如果被测量的位置点不在旋转中心，那么偏摆将导致二维的阿贝误差。对于X轴或Y轴平台，偏摆将在X和Y方向上引起阿贝误差，这些定位误差的大小可以通过偏移距离的长度乘以旋转角度的正弦和余弦来计算。

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