精密运动台有直线运动、旋转运动及倾角运动等，这些都是实现精密定位不可分割的一部分，单从直线运动来说，又分滚珠丝杆结构、直驱线轨结构、直驱气浮结构、液压结构及磁悬浮结构等。不同的结构分别有不同的精度。现阶段市场上应用多的是滚珠丝杆结构和直驱线轨结构，相对比较精度会低些，那气浮结构有哪些优势呢？

气浮结构是解决超精密应用中的一部分，其结构由高性能直线电机驱动，光栅尺和气浮导轨等主要部件组成。无铁芯直线电机特点是无齿槽效应，高动态性能及电流噪音小等；配置低热膨胀系数的光栅反馈；气浮导轨接近零的摩擦系数，平稳无摩擦运动，搭配上的控制系统，是精密定位台整体的稳定性比较高，定位的精度是在亚微米别，速度可以达到2m/s，加速度可达到2G，所以精密定位平台，尤其是气浮运动台已经开始得到各科研院所及企业的认知。

它的结构可以完成满足于较多的应用，在目的精密加工和测试中，这是理想的选择，可以有效提供定位精度，对于激光加工行业，还能得到理想的切割直线可以快速的达到响应的作用，是整个系统提升精度性能的重要组成部分。

精密运动台主要应用于半导体加工、测试，激光微纳加工，测试测量，生物工程及国防航空等行业。