日立扫描电子显微镜是有哪几部分组成？

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来源：昆山瑞塞奇精密仪器有限公司 2022年04月13日 09:12

日立扫描电子显微镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。广泛用于科研、半导体行业、高等院校、电路板、材料冶金等行业。

日立扫描电子显微镜由三大部分组成：真空系统，电子束系统以及成像系统。

1、真空系统----主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。

2、电子束系统----电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子枪用于产生电子，主要有利用场发射效应产生电子和利用热发射效应产生电子两种。

3、成像系统----电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。

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