GA2400 微量溶解氧分析仪在电子行业中的应用

背景介绍

在半导体行业，对微量溶解氧有严格的要求，若纯水微量溶解氧超标，会造成产品污染而影响产品品质，因此需要严格控制溶解氧含量。半导体行业一般选用脱气膜去除溶解氧，通过憎水纤维膜将液相和气相分开，在气相抽真空，使得气体被去除，液相中的气体就会扩散到气相中，从而达到去除溶解性气体的作用。

上海某电子厂纯水工艺段在脱盐后及终端分配单元前安装了脱气膜工艺，现场溶解氧控制指标要求小于 10ppb。

应用情况

现场安装了 Orb410 控制器+GA2400 微量溶解氧分析仪，用于实时监测脱气膜后的溶解氧含量，现场仪表所测得的溶解氧数据稳定准确，维持在 7~9ppb范围内。

总结

针对客户现场工艺控制要求，Orb410+GA2400 微量溶解氧分析仪是一个很好的选择。GA2400 专门为微量溶解氧在线监测设计，其响应能力快速（7.2S），重现性良好，维护操作简单，不锈钢设计坚固耐用，适用于电子行业纯水溶解氧在线监测。

溶解氧是电子行业重要的监测指标，其含量高低将直接影响终端产品品质。在正常的维护情况下，GA2400 微量溶解氧分析仪响应迅速，重现性及检出限*现场测量需求，校准快速，维护简单，是一款用于纯水溶解氧监测的高性价比的在线仪表。