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日立钨灯丝扫描电镜的整套设备是由电子枪、电磁透镜、样品仓和真空系统、控制电路，以及控制计算机和外围辅助设施等部件组装而成的。用户在维护时通常要清洗和保养的主要部位是电子枪、镜筒和真空系统的真空泵等，若是钨灯丝扫描电镜，电子枪栅极到阳极区间是受钨阴极蒸汽污染最严重的地方，应定时对栅极片的污染部位进行清洁。
日立钨灯丝扫描电镜的维护与保养包含以下五个个方面：
1、衬管的拆卸与清洁
打开镜筒上部的发射仓顶盖，使用专业工具来提取镜筒中的衬管，提取过程取出之后，然后再用专用工具的另外一根专用工具插入衬管中，慢慢推出衬管中的几个光阑。衬管和光阑清洗完成后，经烘烤后趁热依照光阑的原来的顺序倒过来，按专用工具上的规定的距离刻度依次推进到衬管中的原位置。
2、光阑的清洁
普通光学显微镜的光阑不容易受损和污染，所以光阑的寿命几乎是永jiu性的。但是扫描电镜的光阑不同，它需要经常清洗和更换。电子光学通道中的光阑在电子束的照射下，正是污染物最容易沉积的地方，由真空系统中的碳氢形成的聚合物慢慢沉积在光阑的表面，特别是光阑的上表面。
3、闪烁体的保养
现在电镜上使用的闪烁体多数是用洁净而无气泡的玻璃作基材，再在其上面涂覆一层P-47/46无机材料作为发光层，然后蒸镀一层越70nm的铝膜作为电极，虽然性能良好，但是在使用半年后，发光效率仍然会慢慢变差，整体性能会开始有所下降。
4、真空系统的维护
在真空系统中，需要经常检查机械真空泵和油扩散泵的油面，一旦发现油面下降应及时加油。机械泵若缺油不仅会磨坏轴套上的油封密封圈，而且对机械泵的旋片端头和内腔壁也可能会造成永jiu性的损伤，使极限真空度下降。用真空计检查真空度是必要的，为了提高真空系统的可靠性，延长各部件的使用寿命，随时做好维护和保养的措施。
5、冷水机的维护
1)应经常检查冷水机的水管连接是否安全，牢靠，冷水机的流量、温度和压力是否合适。
2)建议每个月都应检查水箱的水位，一旦水位下降，应及时补充，只能补充蒸馏水。
3)为防止水中微生物或游离性的有机杂质，以免妨碍水的流动，影响冷却效果，最好应在水中添加杀菌剂，水箱中的蒸馏水至少每年更换一次。
4)对于压缩机的风冷过滤网和散热风扇的叶片每6个月清洗一次，清洗完成之后都应在风扇轴承上加1-2滴油。
5)为减少水垢对流量和制冷量的影响，建议每隔5年清洗管路。
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