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臭氧，是氧气的同素异形体，在常温下，是一种有特殊臭味的淡蓝色气体。臭氧检测仪的检测原理有半导体原理、电化学检测原理、紫外光法原理等。
紫外光法就是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，就能得出臭氧浓度大小。
紫外光法就是采用紫外线吸收法的原理，用稳定的紫外灯光源产生紫外线，用光波过滤器过滤掉其它波长紫外光，只允许波长253.7nm通过。经过样品光电传感器，再经过臭氧吸收池后，到达采样光电传感器。通过样品光电传感器和采样光电传感器电信号比较，再经过数学模型的计算，就能得出臭氧浓度大小。
紫外臭氧检测仪主要由低压紫外灯，光波过滤器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、输出显示、电路部件构成。主要用于臭氧发生器出口的臭氧浓度测量，可连续在线检测臭氧发生器出口管道中的臭氧浓度。可用于检测各种工业环境下的臭氧气体，也可用于检测运行中的管道、容器等环境的臭氧气体。主要应用于制药、化工、市政、污水处理等行业，对臭氧发生器出口臭氧气体浓度进行测量。
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