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真空镀膜设备真空装置自动控制中，往往要进行真空测量，由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同，因此，从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空测量坞会遇到。通常使用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功能，真空仪器厂家还生产包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功能模块板供用户选配。
因此，一个配置齐全的真空计，不仅能进行真空度测量、数字显示、量程自动切换、误差自动修正，而且能在压力设定点发出控制信号去进行压力控制，按设定压力值进行压力自动调节，还能将测量值打印记录，并与上位机进行通信联系，甚至还能进行远距离真空测量与控制。
TTR91N全量程真空计 PENNINGVAC变送器PTR90N是PTR90的升级款结合了冷阴极电离原理与皮拉尼真空规原理的全量程真空规.一台变送器就能测量从5E-9 mbar到大气压的压强范围.在Z佳点火压强接通内部高压,冷阴极系统直接点火。
主要特点.
1. 从一大气压到极限压力之间皆可运转使用。
2. 在低真空压下，仍可保持良好的抽气速度。
3. 低噪音、低震动。
4. 内置出口滤心，可达99.9%的油气过滤效果。
5. *的排除水蒸气的功能。
6. 空气冷却，经济方便<也可选择水冷冷却>。
7. 进气口配置有止回阀，避免泵浦停止时，真空油会逆流。
8. 结构紧凑、体积小、节省空间。
9. 非常容易保养。
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