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探究经等离子处理后的PDMS实现不可逆键合的*工艺参数。
工艺参数，因为不同物质表面硬度、活性条件等都可能不同，故对异质的等离子清洗工艺参数也需要探究。
等离子法影响不可逆键合的因素有许多，每种因素下具有多个水平，而且多个因素之间也可能会有交互式影响。因此在进行PDMS同质异质不可逆键合试验之前，需要设计科学、合理并且高效的试验设计方案与方法，对探究PDMS同质异质不可逆键合的最佳工艺条件是十分必要的。
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设计科学的试验方法
在工艺优化中，应用最多的试验设计方法为正交设计。等离子处理法涉及的主要工艺参数有三个：射频功率，空气流量，改性时间。不同的参数组合，会产生不同的改性效果，其主要体现在键合面积百分比大小，所以以键合面积百分比为指标。为找出三种参数最佳组合，需要做大量的试验，为了减少成本，提高效率，需要采取正确试验方法。正交试验在全面样品试验点中挑出具有代表性的样品点进行试验，这些点具有“均匀分散，齐整可比”的特点，其*的代表性使正交试验法成为分式析因设计的主要方法，是一种快速、经济、高效率的试验方法。
在不同射频功率下，一定范围的空气流量和改性时间，都可以实现PDMS／PDMS的不可逆键合，但键合效果参差不齐，甚至差别极大
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各参数对键合强度的影响
保持空气流量与改性时间不变只变动射频功率时，PDMS／PDMS的键合强度随着射频功率增大而逐渐增大，表明射频功率越大，等离子处理对PDMS表面改性作用增强。保持射频功率与改性时间不变只变动空气流量时，PDMS／PDMs的键合强度随着空气流量的增大而逐渐增大，表明空气流量的增大对键合强度有促进作用。
保持射频功率与空气流量不变只变动改性时间，PDMS／PDMS的键合强度并没有随着改性时间的增大而增大，而是先增大后减小，可见改性时间在一定范围内可以增大键合强度，但超过某一临界值，促进作用减小，甚至有副作用。
等离子法中各因素影响从主到次的顺序为：
空气流量>改性时间>射频功率。
其键合面积百分比随键合时间与键合加载压力增加而增加，但两者均有临界点，超过临界点对键合面积百分比的促进作用迅速减弱。
三种参数搭配恰当并且保证键合时间充裕，键合面积百分比都会超过90％，达到实验要求。在PDMS／PDMS产生不可逆键合的前提下，盖片与基底的PDMS配比越低，键合强度越大，PDMS／PDMS键合强度随随射频功率增大而增大，随空气流量增大而增大，改性时间对其的影响却不稳定。
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对于等离子法处理时，射频功率越高越好，改性时间越久越好，中低频对表面的改性效果较差，高频对表面的改性效果较好。
键合强度测量结果
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