真空气氛炉常用的有真空、氢、氧、氮和惰性气体(如氩)等各种气氛。

真空气氛炉中真空系统的气密性表征了防止气体渗漏的性能，包括漏孔(或间隙)的漏气和材料的渗气，其优劣通常用漏率表示。漏率是单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。在标准中，漏率定义为：漏孔入口压力为1*0.1*105Pa，出口压力低于1.33*103Pa，温度为23℃±7℃的标准条件下，露点温度低于﹣25℃的空气，单位时间内流过漏孔的气体量。

真空检漏的目的，不仅是判断系统是否漏气，定量地检测出漏率的大小，更重要的是找出漏孔的位置或漏气原因，以便采取措施进行修补。真空检漏的基本原理是利用真空系统内外的压差使气体流动并运用一定的技术手段检测出漏孔的位置。

真空系统内部充有高于大气压力的气体，使气体由内向外流动进行检漏的方法称为正压检漏法，检漏仪器探头从外部探测示漏气体，从而确定漏孔位置及漏率。把真空系统抽成真空，从外部用喷嘴向系统喷射示漏气体，使气体由外向内流动，观察检漏仪读书变化，从而确定漏孔位置及漏率，这种检漏称为负压检漏法，也可称为真空检漏法。

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