椭偏仪的原理和特点介绍

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来源：岱美仪器技术服务（上海）有限公司 2021年10月19日 08:58

　　椭偏仪/椭圆偏振仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。现在已被广泛应用于材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。

　　基本原理：

　　椭偏仪的原理主要依赖于光的偏振现象。当光线通过某些物质时，其偏振状态会发生变化。椭偏仪利用这一特性，通过精确控制入射光的偏振态，并测量经过样品后光的偏振态变化，进而分析样品的性质。

　　椭偏法测量具有如下特点：

　　1.能测量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2个数量级。

　　2.是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其它精密方法：如称重法、定量化学分析法简便。

　　3.可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数。因此可以作为分析工具使用。

　　4.对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感。是研究表面物理的一种方法。

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