数码显微镜在微电子和电子行业的应用

控制（QC/QA）或开发（R&D）时，一些微电子器件的生产，如硬盘驱动器，要求对其各个部件进行检查和质量控制，全尺寸：从宏观（＞2毫米）->介观尺度（10mm~25μm）->微观尺度（1000μm~500nm）->纳米尺度（＜500nm）。需要使用数码显微镜对零件快速进行大视野成像，以及精准的尺寸计量。从而满足更快的改进制作规范以及生产需求，优化整个工作流程。使用徕卡DVM6数码显微镜的以下性能，可快速得出检查的可靠结果。本报告的重点将是大视野、测量功能及倾斜角度（下述红色字体部分）。

• 自动跟踪和存储的可重复，显微镜最重要的硬件参数可记忆（编码），例如，使用的倍数，照明和相机设置等参数条件可快速重现；

• 超大变焦范围16：1，镜头切换支持热插拔；

• 二维尺寸测量及三维尺寸测量

• 快速角度旋转，倾斜角度不同视角观察样品；

• 集成LED（发光二极管）环形光和同轴光，具有多方向的照明模式；

• 数字快照和数字10MP的数码相机，高画质成像；

• XY拼图功能和Z轴扫描成像功能，可拍摄大范围大景深的图像；

徕卡DVM6数码显微镜满足微观尺寸(10mm~500nm)的观察，例如在电子零件领域用于测量硬盘驱动器上零件通孔的直径、周长和深度分布，以及焊点的长度、面积和高度分布。

硬盘驱动器图示

1

一颗镜头观察宏观及微观：

16:1超大变倍比，一颗镜头即可从宏观观察到微观结构。

2

二维及三维测量功能：

不仅可对平面进行数据测量，还具备了EDOF景深叠加功能，叠加后的图像可进一步进行三维尺寸测量。

控制磁头和执行臂的线路板2D尺寸测量

控制磁头和执行臂的线路板3D尺寸测量及3D视图

3

使用DVM6旋转角度功能进行观察各方位样品：

支架可倾斜±60°，载物台可旋转±180度，无需改变样品角度。

总结

微电子和电子工业与日俱增，需要更快更便宜的设备生产，同时满足不断提高产品规格的要求。从而导致制造商的工作流程变得更为复杂，对工作流程的效率要求也越来越高。DVM6数码显微镜无目镜，直接观察显示器的特点以及符合人体工学，无论是在产品创新、研究和开发（R&D）、生产、质量控制与保证（QC/QA）或失效分析（FA），都能大大提高工作效率，减少成本增加效益。