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X荧光光谱仪是测定材料发光性能的基本设备。主要包括光源、激发单色器、样品池、荧光单色器及探测器等主要部件。而探测器是很重要的一环，它的重要作用是接受和分辨信号，由于探测器性能的不同，在选用探测器时，就需要综合考虑多种因素。
好的探测器不仅需要具有高分辨率和高计数率，还需要有较宽的元素分析范围和有效活性区。其应用领域和使用环境等也是需要关注之一。
就目前X荧光光谱仪常用的三种X射线探测器而言，产生一个离子对的平均能量，在Si(Li）探测器、流气式正比计数器、闪烁计数器之间大约相差一个量级，而分辨率与统一个光子产生的电子数的平方根成正比，故三者之间的分辨率也粗略相差三倍。由人射光子在探测器中产生的等价离子对数目与人射光子能量成正比，与产生离子对的平均能量成反比。
三种X射线探测器的比较：
1、流气式正比计数器适用波长范围0.15～5.0/nm，平均能量/离子对26.4eV，电子数305/光子，分辨率1.2/keV。
2、NaI闪烁计数器适用波长范围0.02~0.2/nm，平均能量/离子对350eV，电子数23/光子，分辨率3.0/keV。
3、Si(Li)探测器适用波长范围0.05～0.8/nm，平均能量/离子对3.6cV，电子数2116/光子，分辨率0.16/keV。
尽管X荧光光谱仪由于使用分光晶体而达到约12eV的分辨率，但新的能量探测器已经可达到4eV，在分辨率方面已取得优势。
事实上如果新型能量探测器在计数率和制造工艺的稳定性方面能取得突破，则X荧光光谱仪有可能在未来逐步取代复杂的波长色散X荧光光谱设备，成为X荧光光谱分析领域的主流
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