等离子清洗仪也叫等离子表面处理机，光从名称上来看，清洗并不是真正意义上的表面清洗，而是处理和反应，“洗表面“才是等离子清洗机技术的核心。在现代等离子清洗仪也算是一种全新的高科技清洗技术，主要的功能就是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果，相对于传统的清洗设备而言，不需要用到溶剂进行清洗，并且等离子清洗机清洗的杂质是微观的，简单的来说清洗表面就是在被处理材料表面打出无数个肉眼看不到的小孔，同时在表面形成一个新的氧化层薄膜。

   等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。

   等离子体清洗仪通过等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。从机理上看：等离子清洗仪在清洗时通入工作气体在电磁场的作用下所激发的等离子与物体表面产生物理反应和化学反应。等离子清洗仪就是通过利用这些活性组分的性质来微观处理样品表面，从而实现清洁、改性、活化和涂覆等目的。