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CVD管式炉的产品特点及注意事项

来源:天津中环电炉股份有限公司   2021年08月02日 15:35  
CVD管式炉产品特点:

1、控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。


2、气路快速连接法兰结构采用本公司知识产权设计,提高操作便捷性。


3、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵防止意外漏气造成分子泵损坏,延长系统使用寿命。


CVD管式炉使用注意事项:


1、冷炉使用时,由于管式炉膛是冷的,须大量吸热,所以低温段升温速率不易过快,各温度段的升温速率差别不易太大,设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质,以免出现喷料现象,污染炉管。


2、定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好,应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。


3、使用或长时间不用后,要在120℃左右烘烤1小时,在300℃左右烘烤2小时后使用,以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度,以免损坏加热元件 及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属,保持炉内的清洁。


4、炉膛若采用石英管,当温度高于1000℃时,石英管的高温部分会出现不透明现象,这叫失透是连熔石英管的一个固有缺陷,属正常现象。

 

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