扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样_上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
扫描电镜主要可以分为三个部分:
a.电子光学系统
作用:是用来获得很细的电子束(直径约几个nm),作为产生物理信号的激发源。
作用:是用来获得很细的电子束(直径约几个nm),作为产生物理信号的激发源。
b.信号收集处理,图像显示和记录系统
作用:收集(探测)样品在入射电子束作用下产生的各种物理信号,并进行放大;将信号检测放大系统输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管荧光屏上的图像,供观察或记录。
作用:收集(探测)样品在入射电子束作用下产生的各种物理信号,并进行放大;将信号检测放大系统输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管荧光屏上的图像,供观察或记录。
c.真空系统
作用:保证电子光学系统正常工作,防止样品污染,避免灯丝寿命快速下降。
需要提供高的真空度,一般情况下要求保持10-4~10-5mmHg的真空度。
免责声明
- 凡本网注明“来源:化工仪器网”的所有作品,均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明“来源:化工仪器网”。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
- 本网转载并注明自其他来源(非化工仪器网)的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品第一来源,并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。