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过氧化氢灭菌器包括汽化过氧化氢灭菌技术和干雾过氧化氢灭菌技术。过氧化氢因具有氧化还原作用而具有杀菌效果，特别对厌氧芽孢杆菌的杀灭效果好。过氧化氢的作用原理是通过复杂的化学反应解离具有高活性的羟基，用于攻击细胞的成分，包括破坏细胞膜、脂类、蛋白质和DNA。通过 “闪蒸” 将液态H2O2转化为过氧化氢干雾，此过程可在常温常湿的环境下有效进行，不需要进行除湿等特别的预处理。过氧化氢干雾被均匀地引入密闭空间，其内表面*暴露于过氧化氢干雾中，形成约1 μm的过氧化氢膜，附着在可能寄居了微生物的表面，微生物自身会作为核心被形成的微冷凝所包裹，并迅速在此过程中被杀灭。
过氧化氢灭菌器主要有以下特点：
(1)消毒灭菌可以在室温条件下进行；
(2)消毒周期短，过氧化氢干雾的消毒周期只需5～7 h，而蒸汽消毒周期为8～10 h，环氧乙烷气体消毒灭菌周期为12～18 h；
(3)过氧化氢干雾消毒灭菌对操作人员无危害，对环境无污染，其终残留物为水和氧气；
(4)蒸汽灭菌使腔室产生很大的压差变化，长期反复受压、抽真空，会缩短设备的使用寿命，而采用过氧化氢干雾灭菌，因压力、温度条件的改善，使设备的运行寿命和维修周期得以延长；
(5)长期使用蒸汽灭菌，湿热气体易破坏腔体内表面的不锈钢钝化膜，而过氧化氢干雾灭菌则很少损害腔体内表面的不锈钢钝化膜；
(6)采用移动式(带脚轮)的过氧化氢干雾(VHP)发生器，能对多台设备配套灭菌，减少设备的初投资费用；
(7)过氧化氢干雾菌的工艺重复性好，较易通过验证测试；
(8)对过滤器HEPA的穿透性好(玻璃纤维)；
(9)对于其他物品无影响，如装置、电器、洁净室墙板等。
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