为使匀胶旋涂仪达到预期的效果，在使用时应注意这几点

来源：华仪行（北京）科技有限公司 2021年05月08日 15:26

匀胶旋涂仪快速启动和稳定的转速，能够保证胶厚度的一致性和均匀性。主要用于微细加工、半导体、微电子、光电子和纳米技术工艺中在硅片、陶瓷片上匀胶等工艺与光刻、烘烤等设备配合使用。适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺，可在科研、教育等单位作科研、教学之用。匀胶旋涂仪的使用注意事项：

1、在开机前，要抬起控制键以及吸片键，将电源开启以后，分别将各键按下进行操作，从而使没有启动电机就转动得以避免。

2、片子尺寸不一样，选用的片托的尺寸也不一样，厚度低于1.5毫米的片子对带吸气槽的片托进行选用，厚度高于1.5毫米的片子，对O型圈的片托进行选用。

3、相比于片托有效尺寸，所甩的样片的尺寸要大大约2-3毫米。若使用大片托甩小的样片，就会漏气，与此同时导致往抽气室内吸入胶。

4、若一不小心被吸入了抽气室，需要马上进行清洗，不然片托、光电盘、电机轴就会粘在一起,导致电机转不动,拆卸也变得非常困难。

5、在使用结束后，应对设备进行清洁。

凡本网注明“来源：化工仪器网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：化工仪器网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其他来源（非化工仪器网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。

联系我们