【关于管式炉特征的介绍】

【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用较为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。

管式电炉由加热炉本体和余热回收系统组成，管式加热炉炉体内设置有烟囱档板，加热炉本体于烟囱档板下方设置有高温烟气出口，余热回收系统包括空气预热器，其特征在于：空气预热器由非冷凝式空气预热器和冷凝式空气预热器两段组成。

管式电阻炉的结构：管式电阻炉外形呈一横置的圆柱体，它安置于由薄钢板制成的底座上。炉壳用薄钢板圈焊而成，工作室为碳化硅或氧化铝耐火材料制成的管形炉膛，炉膛外表面制有螺旋形的单丝槽，铁铬铝合金丝绕于丝槽内。炉膛两端用耐火材料制成的炉圈固定于炉盖上。

炉膛与炉壳之间用硅酸铝耐火纤维制品等材料砌筑为保温层。管式电阻炉的应用范围：管式电阻炉供实验室、工矿企业、科研等单位作化学分析、物理测定及热电偶检定等加热用。单管定碳炉以硅碳棒为加热元件，用于分析、测定普通钢或合金钢中含碳及硫量时加热用。

本系列管式电阻炉为周期作业式电炉，可供工矿企业、科研等单位、实验室和车间作化学分析、物理测定和热电偶鉴定等加热之用。

管式电炉的使用方法：电炉操作工应具备国家相应电气设备操作资格，并熟读本电窑随机仪表说明书等技术文件！用户开关板给电炉送电，此时程序表得电，按温度仪表说明书设定仪表（如P、I、D参数），按工艺要求编制加热程序，打开加热旋钮，使加热功率到达6KW。

加热功率可按下式计算：加热功率=仪表电压×仪表电流正常加热电流约为：22A，加热电压约为：220V。加热停止：程序温度结束后，执行时间=0段程序，加热结束。将停止按扭旋至关位。分断用户开关。

1.程序设定温度不得高于电炉参数温度。

2.电炉工作时，不得打开炉门。取产品时，应等到炉温100℃以下。

3.升温加热时，加热功率不得超过6KW，否则将损伤加热元件。

管式电阻炉的安全使用：在关键部位安装有声、光警报装置和安全联锁保护装置，确保安全，其设备安全设施达到国家规定的安全标准，包括：

（1）超温断偶报警及保护；充气异常；接地保护；短路保护等。

（2）炉盖关紧、真空度满足要求，方可启动加热。针对实验室的使用要求，装卸料采用间歇式手动装、卸料。装料时将料盒放置在料盆支架上，打开并取出炉管一端的密封端盖，放入带料盒的料盒支架，再将密封端盖安装在炉管法兰上并拧紧卡箍螺栓。然后通人工艺气氛，直到炉管内氧含量达到工艺要求时进行升温烧结。

产品烧结工艺完成后，应继续通人小量的工艺气氛并进行降温，直到炉内温度低于工艺要求时，方可打开炉管密封端盖取出产品。