四探针电阻率测试仪也有很多种，例如高温的或者常温的，不同的四探针电阻率测试仪针对不同的材料测量的参数也是不同的。举例，高温四探针电阻率测试仪可以测量硅、锗单晶电阻率和硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃和其他导电薄膜的方块电阻，主要用于评估半导体薄膜和薄片的导电性能，高温四探针电阻率测试仪就是，主要测量的参数就是半导体材料的电阻、电阻率、方块电阻等。

本仪器本仪器采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设。

采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便;选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表;本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

双电测数字四探针电阻率测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。

参数资料

1.方块电阻范围：10-5～2×105Ω/□

2.电阻率范围：10-5～2×106Ω-cm

3.测试电流范围：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.电流精度：±0.1%读数

5.电阻精度：≤0.3%

6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度、电导率

7.测试方式: 双电测量

8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W

9.整机不确定性误差: ≤4%(标准样片结果)

10.选购功能: 选购1.pc软件;选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台

11.测试探头： 探针间距选购：1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购：碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针

仪器具有测量范围宽、精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、外形美观、使用简便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

配套方案：解决各材料状态 --固态、液态、气态、颗粒状 电阻、电阻率、电导率测量

采用四端测量法适用于生产企业、高等院校、科研部门，实验室；是检验和分析导体材料和半导体材料质量的工具。可配置不同测量装置测试不同类型材料之电阻率。液晶显示，温度补偿功能，自动量程，自动测量电阻，电阻率，电导率数据。恒流源输出；选配：PC软件过程数据处理和标准电阻校准仪器，薄膜按键操作简单，中文或英文两种语言界面选择.

四端测试法是目前较*之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。

四探针电阻测试仪由主机、选配的四探针探头和测试台等三部分组成。

主机主要由数控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式单片机系统组成。自动/手动量程可选；电阻率、方阻、电阻测试类别快捷切换：仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入，简便可靠；具有零位、满度自校功能；测试结果由数字表头直接显示。