g/i线光刻胶、KrF/ArF光刻胶在半导体集成电路中的应用

来源：西安齐岳生物科技有限公司 2021年01月22日 14:27

光刻胶是光刻成像的承载介质，其作用是利用光化学反应的原理将光刻系统中经过衍射、滤波后的光信息转化为化学能量，进而完成掩模图形的复制。目前，集成电路生产中使用的光刻胶一般由聚合物骨架、光致酸产生剂或光敏化合物、溶剂，以及显影保护基团、刻蚀保护基团等其他辅助成分组成。

光刻胶是一种有机化合物，它被紫外光曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜。

中文名：光刻胶

外文名：photoresist

别名：光致抗蚀剂

成分：感光树脂、增感剂和溶剂

分类：负性胶和正性胶

硅片制造中，光刻胶的目的主要有两个：光刻胶原理，小孔成像；源头，古老的相机；

（1）将掩模版图形转移到硅片表面顶层的光刻胶中；

（2）在后续工艺中，保护下面的材料（例如刻蚀或离子注入阻挡层）。

在半导体集成电路制造行业；主要使用g线光刻胶、i线光刻胶、KrF光刻胶、ArF光刻胶等。在大规模集成电路的制造过程中，一般要对硅片进行过十次光刻。在每次的光刻和刻蚀工艺中，光刻胶都要通过预烘、涂胶、前烘、对准、曝光、后烘、显影和蚀刻等环节，将光罩（掩膜版）上的图形转移到硅片上。

感光阻焊油墨用于 PCB

光刻胶是集成电路制造的重要材料：光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、成品率及性的关键因素。光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的35%，并且耗费时间约占整个芯片工艺的40%-50%。光刻胶材料约占IC制造材料总成本的4%，市场。因此光刻胶是半导体集成电路制造的材料。

正性光刻胶显影示意图

按显示分类；光刻胶可分为正性光刻胶和负性光刻胶。负性光刻胶显影时形成的图形与光罩（掩膜版）相反；正性光刻胶形成的图形与掩膜版相同。两者的生产工艺流程基本一致，区别在于主要原材料不同。

负性光刻胶显影示意图

按照化学结构分类；光刻胶可以分为光聚合型，光分解型，光交联型和化学放大型。光聚合型光刻胶采用烯类单体，在光作用下生成自由基，进一步引发单体聚合，后生成聚合物；

光聚合反应示意图

光分解型光刻胶，采用含有重氮醌类化合物(DQN)材料作为感光剂，其经光照后,发生光分解反应，可以制成正性光刻胶；光交联型光刻胶采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料，在光的作用下，形成一种不溶性的网状结构，而起到抗蚀作用，可以制成负性光刻胶。

产品供应：

产品名称	cas
1-丙烯酸金刚烷酯	121601-93-2
1-金刚烷基甲基丙烯酸酯	16887-36-8
丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯	7398-56-3
4-乙酰氧基苯乙烯	2628-16-2
1,3-金刚烷二醇单丙烯酸酯	216581-76-9
2-甲基-2-金刚烷醇丙烯酸酯	249562-06-9
2-乙基-2-金刚烷基丙烯酸酯	303186-14-3
1,3-金刚烷二醇二丙烯酸酯	81665-82-9
2-氧代六氢-2H-3,5-亚甲基环戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯	254900-07-7
甲基丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸-8-基酯[	34759-34-7
2-异丙基-2-金刚烷丙烯酸甲酯	297156-50-4
2-异丙基-2-金刚烷醇丙烯酸酯	251564-67-7
gamma-丁内酯-3-基异丁烯酸酯	130224-95-2
N-异丙基甲基丙烯酰胺	13749-61-6
(9H-芴-9,9-二基)双(亚甲基)二丙烯酸酯	583036-99-1
(5-氧代四氢-呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯	156938-09-9
1-乙基环戊基甲基丙烯酸酯	266308-58-1
1-异丙基-1-环己醇甲基丙烯酸酯	811440-77-4
2-甲基-2-丙烯酸4-羟基苯基酯	31480-93-0
n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate	170216-64-5
2-(溴甲基)丙烯酸甲酯	4224-69-5
甲基丙烯酸-9-蒽甲酯	31645-35-9
2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[	347886-81-1
2-乙烯基萘	827-54-3
2-环己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯	186585-56-8
2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氢-呋喃-3-基酯	195000-66-9
丙烯酸甲基环戊酯	178889-49-1
丙烯酸1-乙基环戊酯	326925-69-3
2-氧代四氢-呋喃-3-基丙烯酸酯	328249-37-2
4-叔丁氧基苯乙烯	95418-58-9
4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸	69260-42-0
甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯	13695-31-3
3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene	16215-47-7
acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol	57142-64-0
1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯	157057-20-0
1-甲基环己基甲基丙烯酸酯	76392-14-8
2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯	1176273-16-7
2,5-二甲基己烷-2,5-二基双(2-甲基丙烯酸酯)	131787-39-8
1-甲基环戊基甲基丙烯酸酯	178889-45-7
1-乙基环己基甲基丙烯酸酯	274248-09-8
4-异丙基苯酚	4286-23-1
(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate	13818-44-5
乙酸-2-乙烯基苯基酯	63600-35-1
2-(金刚烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯	325991-26-2
1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate	51920-52-6
甲基丙烯酸四氢-呋喃-2-基酯	15895-80-4
oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate	52858-59-0
6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one	1267624-16-7
3-叔丁氧基苯乙烯	105612-79-1
2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯	13732-00-8
2,3-二羟基丙烯酸丙酯	10095-20-2
2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]环氧乙烷	2653-39-6
3,5-二乙酰氧基苯乙烯	155222-48-3
2-(2,2-二氟乙烯基)双环[2.2.1]庚烷	123455-94-7
二苯基碘酰氯	1483-72-3
双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓与三氟甲磺酸的盐	84563-54-2
全氟丁基磺酸三苯基锍盐	144317-44-2
双(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓	5421-53-4
TBPDPS-PFBS	258872-05-8
1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸盐	194999-85-4
(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸	111281-12-0
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸	85342-62-7

上述产品齐岳生物均可供应，用于科研！

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