这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。 提到压阻式传感器,首先得讲到它的原理——压阻效应。
压阻效应是用来描述材料在受到机械式应力下所产生的电阻变化。不同于压电效应,压阻效应只产生阻抗变化,并不会产生电荷。
原理图如上,当压力变化时,电阻R1,R2,R3,R4发生变化,从而引发加载在电阻中间的电压发生变化,这种变化反映出压力值。
压阻式传感器又称为扩散硅压阻式压力传感器,被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
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