FSM413红外激光测厚仪的相关知识普及

来源：岱美仪器技术服务（上海）有限公司 2020年11月05日 09:03

　　FSM413红外激光测厚仪是一款广泛应用于晶圆厚度测量的先进仪器。它采用红外干涉（非接触式）的测量方式。这种测量方式使得仪器能够精确测量各种材料的厚度，特别是那些对红外线透明的材料。此外，该仪器还可以测量有图形、有胶带、凸起或者键合在载体上的晶圆的衬底厚度。

　　FSM413红外激光测厚仪产品简介：

　　1、利红外干涉测量技术，非接触式测量。

　　2、适用于所有可让红外线通过的材料硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、碳化硅、玻璃、石英、聚合物…

　　FSM413红外激光测厚仪规格：

　　1、测量方式：红外干涉(非接触式)。

　　2、样本尺寸：50、75、100、200、300mm，也可以订做客户需要的产品尺寸。

　　3、测量厚度：15—780μm（单探头）；3mm (双探头总厚度测量)。

　　4、扫瞄方式：半自动及全自动型号；另2D/3D扫瞄(Mapping)可选。

　　5、衬底厚度测量：TTV、平均值、小值、大值、公差。

　　6、粗糙度：20—1000Å（RMS）。

　　7、重复性：0.1μm（1 sigma）单探头*；0.8μm（1 sigma）双探头*。

　　8、分辨率：10nm。

　　9、设备尺寸：413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)；413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H) 。

　　10、重量：500 lbs。

　　11、电源：110V/220VAC。

　　12、真空：100 mm Hg。

　　13、样本表面光滑（一般粗糙度小于0.1μm RMS）；150μm厚硅片（没图案、双面抛光并没有掺杂）。

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